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    材料性能

    項目
    規格
    檢測方法
    生長方式
    CZ
    --
    結晶性
    單晶
    擇優化學腐蝕法
    幾何尺寸
    M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm
    硅片自動檢測設備
    厚度
    165 ﹢20/﹣10 μm 160 ﹢20/﹣10 μm 155 ﹢20/﹣10 μm 150 ﹢10/﹣10 μm
    硅片自動檢測設備
    項目:
    生長方式
    規格:
    CZ
    檢測方法:
    --
    項目:
    結晶性
    規格:
    單晶
    檢測方法:
    擇優化學腐蝕法
    項目:
    幾何尺寸
    規格:
    M6:166mm*223mm M10:182mm*247mm
    檢測方法:
    硅片自動檢測設備
    項目:
    厚度
    規格:
    165 ﹢20/﹣10 μm 160 ﹢20/﹣10 μm 155 ﹢20/﹣10 μm 150 ﹢10/﹣10 μm
    檢測方法:
    硅片自動檢測設備

    電性能

    項目
    規格
    檢測方法
    電阻率
    0.3-2.1 ohm.cm 1-7 ohm.cm
    硅片自動檢測設備
    少子壽命
    ≥500us ≥1000us
    Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3)
    氧含量
    ≤8E + 17 at/cm3
    傅里葉變換紅外光譜儀
    碳含量
    ≤ 5E + 16 at/cm3
    傅里葉變換紅外光譜儀
    項目:
    電阻率
    規格:
    0.3-2.1 ohm.cm 1-7 ohm.cm
    檢測方法:
    硅片自動檢測設備
    項目:
    少子壽命
    規格:
    ≥500us ≥1000us
    檢測方法:
    Sinton BCT-400 QSSPC準穩態光電導衰減法 Transient瞬態光電導衰減法 (with injection level: 1E15 cm-3)
    項目:
    氧含量
    規格:
    ≤8E + 17 at/cm3
    檢測方法:
    傅里葉變換紅外光譜儀
    項目:
    碳含量
    規格:
    ≤ 5E + 16 at/cm3
    檢測方法:
    傅里葉變換紅外光譜儀

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